高效能 MEMS 流量感測器模組

Renesas 的質量流量感測器模組非常適合用於工業製程、健康照護與醫療和汽車市場

Renesas 的 FS1012/2012 高效能 MEMS 流量感測器模組圖片Renesas 的固態質量流量感測器模組可量測流過感測表面的氣體或液體流量,使用熱傳輸 (量熱) 原理。此小型流量感測器採用一系列的 MEMS 熱電耦,提供極佳的訊噪比。Renesas 流量感測器具有主動 MEMS 感測元件與碳化矽薄膜塗層,能達到確實的熱隔離,提供極佳的耐磨性和長期可靠性。

Renesas 提供非校準毫伏輸出或完全校準和線性化型號,適用於氣體或液體,具有低至 2% 讀取值的典型準確度。

特點
  • 量測氣體或液體流量
  • MEMS 熱電堆感測
  • 碳化矽塗層覆蓋 MEMS 流量感測器
  • 耐用的固態隔離技術
  • MEMS 元件中無空洞,不會導致堵塞
  • 耐受振動和壓力衝擊
  • 高準確度、高靈敏度
  • 快速反應時間
  • 可輕鬆進行清潔與消毒
  • 3 VDC 至 5 VDC 電源選項
  • 食品等級相容的型號
應用
  • 工業製程
  • 健康照護
  • 醫療裝置
  • 汽車系統

High-Performance MEMS Flow Sensor Modules

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Evaluation Kits / Sensor Kits

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更新日期: 2018-08-13
發佈日期: 2017-09-27